超纯水设备的产水量规格有多种，常见的有以下几类：

1. 实验室用小型超纯水设备：

10升/小时：适用于小型实验室，用水量需求相对较小的场景，比如一些基础的化学实验、生物实验的前期准备等对超纯水水质要求高但用水量不大的环节。

20升/小时：能满足中等规模实验的用水需求，可支持一些较为复杂的实验操作，如细胞培养实验过程中的定期换水、部分仪器的日常清洗等。

30升/小时：对于实验项目较多、用水频率较高的实验室比较适用，可同时为多个实验提供超纯水，减少等待制水的时间。

40升/小时：适用于大型实验室或实验中心，能够满足大量实验同时进行时的超纯水供应需求，保证实验的高效进行。

60升/小时及90升/小时：部分大型或特殊需求的实验室会选择这种产水量较大的设备，例如进行大规模的生物制药研发实验、高端材料分析实验等。

2. 工业用超纯水设备：

0.2吨/小时-200吨/小时不等：工业生产中对超纯水的需求量大，所以产水量规格跨度较大。像电子、电力、电镀、光电、化工、制药等行业，根据生产规模和工艺需求选择不同产水量的超纯水设备。例如，小型电子元件生产企业可能选择产水量较小的设备，而大型的半导体制造工厂则需要产水量大的超纯水设备来满足大规模生产的用水需求。

总之，超纯水设备的产水量规格多样，用户需根据实际的用水需求、场地条件、预算等因素来选择合适的设备。