大型超纯水设备的价格差异较大，一般在几万元到几十万元甚至上百万元不等，具体价格取决于多种因素，包括设备的处理能力、工艺要求、配置以及品牌等。以下是大致的价格范围：

1. 小型的大型超纯水设备（每小时产水几吨以内）：处理能力相对较小，每小时产水1-3吨左右的设备，价格可能在3万-10万元。这种设备适用于一些小型工厂、实验室或对超纯水需求不是特别大的场所。

2. 中型的大型超纯水设备（每小时产水数吨到十数吨）：每小时产水5-10吨的设备，价格通常在10万-30万元之间。这类设备能够满足中等规模企业的生产需求，例如中型的电子制造企业、制药厂的部分生产环节等。

3. 大型的大型超纯水设备（每小时产水数十吨及以上）：对于每小时产水数十吨甚至更高的大型超纯水设备，价格可能在30万元以上，有的甚至可达上百万元。这种大型设备一般应用于大型的工业企业、大型制药厂、发电厂等对超纯水需求量大且对水质要求非常高的场所。此外，如果设备采用了先进的技术，如高效的反渗透膜、高质量的EDI（电去离子）模块等，或者有特殊的定制需求，价格也会相应提高。

在购买大型超纯水设备时，建议多咨询不同的厂家，根据自身的实际需求和预算选择合适的设备。